�g�p�p�r���g�債�A���܂▯���@��ւ̓��ڂ��L�����Ă���u�����x�Z���T�v�ɂ��āA���̊T�O�����炽�߂ĉ������B
�Z���T�[�֘A�̉���L�����ǂݕ���I ���W�T�C�g���������B�u���܂��畷���Ȃ��W���C���Z���T�[����v������������B
�@�����x�Z���T�Ƃ́A�����x�̑����ړI�Ƃ��������Z���T�ł��B�U���Z���T�ƈقȂ�A�����iDC�j�̉����x�����o�\�ł��邽�߁A�d�͂����o���邱�Ƃ��\�ł��B
�@�����x�𑪒肵�A�K�ȐM���������s�����Ƃɂ���āA�X���⓮���A�U����Ռ��Ƃ��������܂��܂ȏ�����܂��B�����x�Z���T�ɂ͑����̎�ނ�����A�����x�̌��o�����ɂ���đ�ʂ���܂��B�{�e�ł�MEMS�iMicro Electro Mechanical System�j�Z�p�����p����MEMS�����x�Z���T�̏Љ�����܂��B
�@�ߔN�̃}�C�N���}�V���Z�p�܂���MEMS�Z�p�̔��B�ɂ��A�����̔����H�Z�p�����p���������x�Z���T�͑�ʂ�����I�ɐ��Y�ł���悤�ɂȂ�܂����B�����x�Z���T�̗p�r���g�債���w�i�ɂ́A�����x�Z���T���̂̋Z�p�I�v�V���������Ƃ����܂��B�ŋ߂ł͎g�p�p�r�̗v���������x�Z���T�ɑg�ݍ����i�A�Ⴆ��AD�R���o�[�^������������i��A�����x���ȊO�ɉ����x�Z���T�Ɉ���臒l�ȏ�̉����x����������ꍇ�Ɋ��荞�ݐM�����o�͂���悤�ȁA�A���S���Y������������^�C�v�̐��i���o�ꂵ�Ă��܂��B
�@��ʓI�ɖ�20G�ȉ��̑���͈͂��������x�Z���T���G�����x�Z���T�A����ȏ�̑���͈͂������̂���G�����x�Z���T�ƌĂт܂��B��G�����x�Z���T�͏d�́E�X���̌��m��l�̓����̌��m�ɓK���Ă���A��G�����x�Z���T�͎�ɏՌ��̌��m�Ɏg���܂��B
�@MEMS�^�����x�Z���T�͉����x�����o���錟�o�f�q���ƁA���o�f�q����̐M�����A�������ďo�͂���M��������H�ō\������A���o�f�q���̕����ɂ���ĕ\1�̂悤�ɕ��ނ���܂��B�`�b�v�����ŕ���|���Ă��鐻�i���������݂��邽�߁A�X�̐��i�d�l�ƕ\1�̐������K��������v����킯�ł͂���܂��A�����x�Z���T�̓����͌��o�f�q���̓����ɑ傫�����E����܂��B����āA�Z���T��I�肷��ꍇ�ɂ͌��o�����𗝉����ėp�r�ɓK���������x�Z���T��I�����邱�Ƃ��d�v�ł��B
�@�����ł͉����x�Z���T�̍\������ь��o�����ɂ��āA�A�i���O�E�f�o�C�Z�Y�ŗp���Ă���Ód�e�ʌ��o�����̒�G�����x�Z���T���ɉ�����܂�
�@�ÓT�͊w�̃j���[�g���̖@���ɂ��ƁA���̂ɓ����͈͂ȉ��̎��ŕ\�����Ƃ��ł��܂��B
�@�����ŁAF�͏d��m�̕����ɓ����͂ŁAa�͉����x�ł��B�o�l�Əd��ō\�������V�X�e�����l�����ꍇ�ɁAF�͈ȉ��̎��ŕ\���܂��B
�@k�̓o�l�W����x�̓o�l�̐L�k�����ł��B���i1�j�Ǝ��i2�j�̘A���������������Ɖ����xa�͈ȉ��̎��̂悤�ɂȂ�܂��B
�@���i3�j���A�����x�͊��m�̃o�l�W���Əd�����������d��̈ړ��������v�����邱�ƂŌv�Z���\�ł��邱�Ƃ�������܂��B�}1�͉����x�̌��o������}���������̂ł��B
�@�������ɗp�����Ód�e�ʌ^�����x�Z���T�i�A�i���O�E�f�o�C�Z�Y���j�́A���i3�j�𗘗p���āA�d��̈ړ��������v�����邱�Ƃɂ���ăZ���T�ɉ�����Ă�������x���o�͂���悤�ɐv���Ă��܂��B�}2�͑�\�I�Ȓ�G�����x�Z���T�̌��o�f�q���̖͎��}�ł��B
�@���o�f�q���ɂ͉����x�ɂ���ē��������i�d��j�ƃo�l�A�܂����̓����i�ړ������j�ɂ��Ód�e�ʕω��������邽�߂̋�����d�ɂ��`������Ă���A���}�X�Ɍ`�����ꂽ���d��1�{������ɂ�2�{�̌Œ�d�ɂɋ��܂��`�œd�ɂ̒P�ʃZ�����`�����Ă��܂��B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.